二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252310 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD是一款高性能的幹蝕刻設備,在多種應用中為卓越可靠的性能而設計。該系統能在高密度、高重復性好的情況下蝕刻厚薄膜，產生優越的重復性和質量，非常適合中、大規模生產。該裝置利用專有的盤狀靜電卡盤在加工過程中牢固地固定基板。這樣可以確保基板和蝕刻頭之間有足夠的接口,從而有助於最大程度地減少加工誤差。蝕刻頭采用不銹鋼制成，並配有聚四氟乙烯塗層，以提高耐磨性。它包含了多種在蝕刻的同時促進更高的重復性和提高質量的特性，如可完全調節的噴嘴、能量控制、可變功率激光器和正壓室。所有這些特性有助於減少底物上可能存在的任何潛在汙染物，有助於改善蝕刻效果。TEL TSP-3055DD機器的載荷令人印象深刻，為1000晶圓/小時，根據需求適合大規模生產。此外，自動電平控制功能補償任何不規則的基板，導致均勻蝕刻過程。該工具還提供了激光標記功能，可以在蝕刻基板上應用各種標誌或標誌。這是一個易於使用和適應性強的功能,可用於自定義單個蝕刻項目。此外,質量控制器可以訪問實時數據,以便能夠執行質量檢查和評估結果以獲得最佳蝕刻過程。TOKYO ELECTRON TSP-3055DD是一種可靠的蝕刻機，適合多種應用，提供質量的結果具有可重復的性能和效率。