二手 TEL / TOKYO ELECTRON TSP-3055DD #9252311 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD是TEL製造的高精度蝕刻器/asher。它被用作半導體或微電子器件制造的工具，是先進蝕刻或灰化技術的強大平臺。TEL TSP-3055DD是利用電感耦合等離子體（ICP）和介電屏障放電（DBD）蝕刻模式的幹蝕刻設備。ICP蝕刻模式用於以高選擇性蝕刻小圖案，而DBD蝕刻模式則用於通過薄膜蝕刻。此外，該系統還配備了劑量管理單元，可確保較高的選擇性和明確的蝕刻工藝。TOKYO ELECTRON TSP-3055DD最大晶圓尺寸為300 mm，最大工藝壓力高達10 Pascal。它配備了一個100kHz 3MHz射頻發生器，提供了廣泛的頻率範圍，允許在不同深度和選擇性蝕刻。此外，該機器還配有一個石英制造的等離子體反應堆，其功率最大為2kW，允許較高的基板到火炬的距離和均勻性。TSP-3055DD的自動化方案旨在在過程控制中提供無與倫比的可重復性。Automation Manager （AM）軟件包支持各種自定義參數調整和過程監控,提供對蝕刻時間、蝕刻壓力、蝕刻速率、過度蝕刻和端點控制的精細控制。此外，該工具還配備了原位光譜資產，可以實時測量蝕刻結果。除了蝕刻功能外，TEL/TOKYO ELECTRON TSP-3055DD還有一個Combiner Option，它允許晶圓同時ashing。這種晶圓灰化技術在去除光致抗蝕劑方面極為有用，因為它利用了幹燥蝕刻和等離子體汽化的結合。TEL TSP-3055DD提供了可靠、準確的蝕刻和灰化技術。其高精度蝕刻工藝和自動化控制模型提供了全新的光刻能力和靈活性，使其成為最苛刻應用的完美選擇。