二手 TEL / TOKYO ELECTRON U2e-655II #293660132 待售

TEL/TOKYO ELECTRON U2e-655II是一種先進的蝕刻和灰化設備，用於先進的亞微米加工和納米技術應用。此蝕刻器/asher利用多種晶片使用,可執行各種蝕刻和灰化任務。它的特點包括4或8個並行塊、支持無損陣列系統、主動晶圓旋轉以提高均勻性和精度、高吞吐量和低擁有成本。該U2e-665II利用了不同類型的蝕刻工藝，包括反應性離子蝕刻（RIE）和等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）。RIE允許蝕刻各種材料，包括矽、二氧化矽和氮化矽。PECVD用於將薄膜沈積在各種基板以及薄膜結構上。TEL U2e-655II還提供了脈沖蝕刻序列控制和清除系統，能夠更好地控制表面汙染，提高可重復性。TOKYO ELECTRON U2e-655II利用高速裝載機臂提高了吞吐量，並利用尺寸識別單元精確準確地加載晶圓。該機器還通過使用多個腔室幫助降低擁有成本,這些腔室可以減少維護停機時間並提高刀具的生產率。此外，U2e-655II還具有防止粒子帶電進入等離子體室的內部機械機制。這有助於減少汙染並改善資產的整體性能。該模型還設計為易於使用，並具有有助於快速檢測和解決錯誤的自我診斷模式。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON U2e-655II為納米技術和亞微米加工需求提供了可靠且價格合理的蝕刻和灰化設備。它的高級功能有助於提高生產效率,同時降低擁有成本和提高精密處理的準確性。