二手 TEL / TOKYO ELECTRON U2e-855II #9363962 待售

TEL/TOKYO ELECTRON U2e-855II是微電子工業中使用的最先進的蝕刻設備。該蝕刻系統結合了等離子體增強幹蝕刻工藝和化學氣相沈積（CVD）工藝。該裝置為硬質和軟質材料的蝕刻提供了卓越的均勻性、高通量和低缺陷率。TEL U2e-855II提供高分辨率和高速度,用於刻蝕孔、溝槽和圖樣。通過電離氣體混合物，然後用磁感應施加的電場控制溫度和能量，進行蝕刻過程。這些微波導致等離子體形成，從而創造出適合蝕刻的低溫低壓環境。外部提供熱量以確保在整個蝕刻過程中有足夠的能量。TOKYO ELECTRON U2e-855II有一個控制面板，用戶可以在其中監控和調節腔室壓力、工作氣體成分、脈沖速率、等離子體功率水平和離子能量。基於PC的集成用戶界面還允許在蝕刻過程中進行控制和監視。機器有一個方便的內置輸送機工具，在蝕刻過程中穩定地通過機器移動晶片。此外，U2e-855II還配備了高縱橫比（HAR）通道蝕刻技術，使用戶能夠在矽片、石英晶體和陶瓷基板等硬質材料中蝕刻出深而復雜的圖樣。HAR技術也有利於產生表面損傷最小的高三維輪廓。該資產為各種應用程序提供了一系列出色的功能。例如,TEL/TOKYO ELECTRON U2e-855II非常適合接觸蝕刻、通過空穴蝕刻、高長寬比蝕刻以及創建深而復雜的圖樣。它還能處理多種基板，與微電子工業中使用的所有類型的光掩模兼容。總體而言，TEL U2e-855II是一種先進的蝕刻模型，適用於各種微電子應用。它提供卓越的一致性、高吞吐量和低缺陷率,同時為用戶提供復雜的控制和監控功能。該設備適用於多種蝕刻應用，可輕松處理硬、軟材料。