二手 TEL / TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW #9192013 待售

TEL/TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW是一種蝕刻/灰分工藝設備,設計用於各種工藝步驟的高通量性能。它有855平方毫米的大活動面積，能夠處理包括矽、熔融矽和玻璃在內的多種基板。該系統有一個集成的流程室，由頻率控制的射頻發電機供電，功率高達2000瓦。該單元還具有一個精確的過程控制軟件，允許完全可編程的過程條件，包括蝕刻速率，輪廓控制，溫度控制等等。TEL U2E-855SS-SW是一臺具有低容量負載鎖的全自動機器。它還具有強大的安全工具，可確保在任何工藝條件下采取所有安全措施。該資產名義上每小時最多可容納200個晶圓,並具有8 x 10英寸的安裝冰球,可快速加載許多不同的基材尺寸。為了確保基板溫度的穩定性，該模型有一個集成的微泵模塊，可以確保更一致的結果。健壯的軟件包還具有高級序列管理器,可簡化配方創建和流程參數設置。此外，設備還有一個用於數據收集、配方和協議的集成控制器，從頭到尾控制整個系統。最後,該設備具有遠程診斷和維護功能,可以快速輕松地進行故障排除。總體而言,TOKYO ELECTRON U2E-855SS-SW是一款令人印象深刻的蝕刻/灰燼機器,提供高性能和精確控制。它專為各種工藝步驟而設計,是尋求高效可靠的蝕刻/灰化解決方案的制造商的絕佳選擇。