二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 2 DRM #9162835 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2 DRM是一種通用蝕刻器，用於所有品種的幹蝕刻應用。它有一個獨特的直接電阻加熱（DRH）系統，使低壓高壓操作與精確的過程控制。該蝕刻器工藝範圍廣，沈積深度在25nm-6um之間，蝕刻深度在10-200um之間。它具有反應性離子蝕刻（RIE）和等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）技術。TEL Unity 2 DRM具有集成的自動化功能,能夠精確控制流程。其中包括用於晶圓制備和處理的計算機控制系統，以及基於工藝參數精確提供正確功率和電壓的自動射頻發生器。它內置的自動校準有助於確保一致的過程可重復性。這些功能不僅可以節省時間，而且可以大大降低控制過程中出現人為錯誤的風險。蝕刻器還有一個內置的模塊化加工室，最多可支撐四種加工氣體，帶有壓板和電驅動蓋以及最多四個陽極盒。該室還設有一個專利的受控離子能源，有助於保持工藝室內的低壓條件，進一步確保蝕刻的準確性和可重復性。該蝕刻器具有很高的可靠性和效率，能夠提供最復雜的蝕刻，具有很高的可重復性和產量。它具有良好的熱穩定性，低交叉汙染，其符合人體工程學的設計使得它易於使用。總之，TOKYO ELECTRON UNITY 2 DRM是高度通用、功能包裝、可靠的蝕刻器，適合廣泛的幹式蝕刻應用。它具有自動化功能，以確保精度和可重復性，它的雙級工藝室提供靈活性和可靠性。它是任何幹蝕刻作業的理想工具，無論是復雜圖樣的精密蝕刻還是標準應用蝕刻。