二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #293774796 待售

ID: 293774796
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Oxide etcher, 8" YASKAWA Robot Process: Oxide CIM: GEM Handler Chiller (2) LPT (4) Dry pumps AC and RF Rack 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD是一種用於半導體製造業的蝕刻機/asher機。這臺機器的設計目的是在半導體器件的表面上創建復雜的設計和圖案。它利用幹蝕刻、反應性離子蝕刻和等離子體蝕刻相結合,將材料蝕刻或「蝕刻」成精密和精確的復雜圖樣。它還能夠對半導體器件的表面進行清潔和粉刷,從而提高了表面粗糙度和最優的電氣特性。該機由中央控制單元控制,便於輸入蝕刻和灰化操作的指令。利用8.6毫秒/秒的設計速度,此蝕刻器/asher可以快速高效地執行多個操作。而且,組件上的合金也會在必要時加熱熔化,以產生柔軟或可塑的蝕刻細節。TEL UNITY 2E 85 DD 蝕刻器/asher采用頻率射頻傳輸來傳遞蝕刻和灰化操作中使用的功率。這類蝕刻器/asher系統使用多電池等離子體腔,帶有多個射頻發生器,傳遞高頻電場。這有助於精確蝕刻半導體材料中的灰分和灰分區域。它可以蝕刻和粉刷多種材料,包括元素金屬、矽基基板、化合物、多晶材料等。這臺機器最大的優點之一就是能夠精確蝕刻具有更小、更精細線條和細節圖案的元件。它還具有卓越的熱蝕刻和軟蝕刻溫度控制能力。它還具有比大多數其他蝕刻器/asher機器更好的清潔周期,這意味著它在進行蝕刻和灰化操作之前非常有效地清潔和準備表面。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD 蝕刻器/asher是一種可靠、精確的機器,非常適合半導體器件中使用的基板的精確蝕刻和粉刷。憑借其先進的功能和精確的控制功能,它是以及時且經濟高效的方式創建錯綜復雜的模式和功能的理想機器。
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