二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #293775059 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD
ID: 293775059
Oxide etcher.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD是一種高度先進的蝕刻器/asher設備,用於半導體工業中,用於精密和精密的加工和蝕刻晶片。該系統在集成電路的制造過程中起著至關重要的作用,有選擇地從基板中去除材料,從而形成復雜的模式和結構。TEL UNITY 2E 85 DD配備了提升性能和效率的尖端技術和功能。該單元采用幹蝕刻工藝,與濕蝕刻方法相比更加精確和可控。幹蝕刻涉及使用電離氣體轟擊晶片表面,通過化學或物理過程去除材料。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD的關鍵成份之一是製程室,放置晶圓並進行蝕刻過程。腔室設計為保持特定氣體流量、壓力水平和溫度條件的受控環境,以達到最佳蝕刻效果。該機器利用先進的等離子體技術,產生了一種高密度的等離子體,有效地從晶圓表面去除材料。UNITY 2E 85 DD配備了多個氣體入口和射頻源,可以精確控制離子密度、能量、分布等等離子參數。這一級別的控制使工具能夠在蝕刻方面實現高選擇性和均勻性,確保所需的圖樣被精確地傳遞到晶圓上。此外,TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD具有先進的端點檢測資產,可實時監控蝕刻過程。該模型利用光發射光譜或其他技術來檢測蝕刻過程達到完成的時刻,防止過度蝕刻並確保蝕刻特征的一致性。除了精確和控制功能外,TEL UNITY 2E 85 DD的設計還考慮了工作效率和可靠性。設備具有較高的吞吐量,允許在短時間內處理大量晶片。它還包括自動晶圓處理系統和軟件控制,以實現無縫操作和最小的停機時間。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD是一個通用系統,可以配置用於廣泛的蝕刻和灰化應用。無論是用於圖樣轉移、溝槽蝕刻,還是去除殘留物,這一單元都提供了靈活性和定制選項,以滿足不同半導體工藝的具體要求。總體而言,UNITY 2E 85 DD是一款最先進的蝕刻機/asher機,它結合了精度、控制、生產率和可靠性,可滿足半導體行業的高科技制造需求。憑借其先進的技術和創新的功能,該工具在生產性能和功能卓越的尖端半導體器件方面發揮著至關重要的作用。
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