二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD #9178057 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD是介電層的先進蝕刻器，包括氮化矽、二氧化矽、蝕刻止動層的蝕刻背。TEL UNITY 2E 85 DD可用於蝕刻二氧化矽、氮化矽、非晶矽和氧化氮。此高級蝕刻器還提供了在各種材料上創建高級特征和圖案的功能。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD高效可靠的設計，保證了最佳蝕刻均勻性和精度。使用一種高反應性、低溫的、以氙/氯為基礎的化學方法可以極好地控制蝕刻速率和蝕刻各向異性。借助先進的控制基板定位器（ACSP）技術,UNITY 2E 85 DD提供了廣泛的基板尺寸和形狀,可以精確、精確地進行蝕刻。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD的大工藝窗口有助於最大限度地減少平衡時間，確保聚焦於目標結果。TEL UNITY 2E 85 DD專為在半導體處理應用中產生質量最高的互連場圖像（IFF）而設計。IFFs提供了精確的窄特征陣列的額外好處,使它們能夠以極高的分辨率集中使用。這是由於TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD具有卓越的蝕刻能力，因為它提供了不同材料間蝕刻速率的優異選擇性、快速蝕刻吞吐量和高度均勻的蝕刻結果。UNITY 2E 85 DD還提供了優越的透矽VIAS （TSV）蝕刻,非常適合對密度極高的狹窄特征進行蝕刻。最小化的特征載荷為地形層的定位提供了極大的靈活性。此外，蝕刻工藝的高度均勻性確保了這些狹窄的特征以均勻的深度精確蝕刻。為了幫助用戶滿足其維護和故障排除需求,TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DD具有板載診斷和數據記錄功能。它具有一個完整的閉環控制，以優化過程結果和質量保證。最後,各種各樣的選項和智能功能允許更多特定於用戶的流程優化和自定義,從而改善了流程周期時間。綜上所述,TEL UNITY 2E 85 DD蝕刻器提供了出色的介電層蝕刻功能、嚴密的聚焦控制、大的工藝窗口、快速的蝕刻吞吐量、增強的功能加載、板載診斷和數據記錄功能,以及用於流程優化和定制的各種選項和智能功能。