二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM #9293757 待售

TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM
ID: 9293757
Dry etcher Parallel plate type: RIE.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM是一種最先進的蝕刻(或ashing)設備,能夠以極高的精度生產高品質的薄膜平面化和金屬化圖樣,用於各個行業。該系統由一個強大的掃描電子顯微鏡和一個精確控制的等離子體沈積/吸入室組成。SEM能夠產生分辨率低至0.2 nm的圖像,沈積/抽吸室配有多個噴嘴,以創建高度均勻的薄膜圖樣。為了達到最高精度,TEL UNITY 2E 85 DRM依賴於多種特殊功能。該單元使用先進的電子光束線掃描儀精確引導光束,並使用多級光學機器對沈積/抽吸過程進行成像和控制。SEM還配備了自動對焦輪廓優化模塊,該模塊可連續監控薄膜厚度,允許用戶進行微調調整。集成的計算機工具能夠實現完全計算機化的操作和用戶友好的圖像優化,以及強大的分析和測量功能。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM還具有多種安全措施和控制系統。其中包括用於監測沈積室或吸入室溫度和流量的資產,以及用於確保安全運行的內置氣體監測器。此外,該模型設計為易於維護,具有高度的可及性和高效的清潔程序。UNITY 2E 85 DRM非常適合在鐵氧體、Gate Oxides和電介質等難以蝕刻的基板上創建高品質的薄膜圖樣。該設備還可以生產低溫焊料和金屬的高精度接觸孔和圖樣成型。通過提供無與倫比的精確度,TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 DRM使制造商和研究機構能夠以前所未有的精確度和可靠性生產出最復雜的設計。
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