二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM #9293825 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM是一種使用選擇性化學氣相沈積（SCVD）的蝕刻器或asher，能夠在含矽晶片上蝕刻高長寬比結構。這個蝕刻器/asher利用等離子體來蝕刻晶片，並且可以蝕刻長寬比高達5：1的特征。蝕刻器能夠蝕刻廣泛的晶圓基板，包括矽、聚矽、二氧化矽、氮化矽、銅等。除了SCVD蝕刻，TEL UNITY 2E 85 SCCM還有額外的蝕刻工藝，包括反應性離子蝕刻（RIE）和離子蝕刻。該蝕刻器利用高長寬比離子植入器，在半導體層內蝕刻高長寬比結構。除這些蝕刻工藝外，蝕刻器還可用於晶圓表面清潔。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM還有一個用於優化蝕刻過程的二維過程控制器以及一個有助於監測和分析蝕刻結果的數字數據記錄系統。蝕刻器直觀的用戶界面使得設置、操作和維護變得容易。此外,蝕刻器符合所有ISO標準,非常適合在制造環境中使用。該蝕刻器還具有用於精確控制蝕刻反應堆的切換質量流控制器，以及有助於實現蝕刻均勻性的高級壓力控制器。此外,UNITY 2E 85 SCCM中強大的電氣元件提供了對蝕刻過程的精確控制,而先進的傳熱系統有助於將蝕刻室和晶片基板保持在一致的溫度。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 85 SCCM是一款先進的蝕刻器/asher，能夠在廣泛的基板上蝕刻高長寬比結構，同時達到半導體行業的最高標準。其先進的蝕刻工藝、數字數據記錄系統、精確控制組件和直觀的用戶界面使其成為制造環境中蝕刻半導體晶片的理想工具。