二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9145475 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD是一款高精度、高通量的工業應用蝕刻器/asher。其設計精度高、壽命長、可靠性高，適用於半導體和MEMS/NEMS行業。TEL UNITY 2E 855DD是一種橋式平面蝕刻器/asher。它裝有專門的高電流、高精度離子源，由磁控管和多管電弧的組合源組成，用於蝕刻和灰化。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD中包含的專有電子設備可提供高達5 GHz的射頻工作頻率,並具有允許短脈沖長度的脈沖功能。這對於確保非常準確和可重復的蝕刻功能非常理想。該裝置在寬幅腔室內操作，最大腔室開口350毫米，最大操作壓力5帕，提供一系列氣體入口和出口，以及提前固定解決方案，以確保工藝要求的最佳匹配。該單元提供了廣泛的可控參數，包括；壓力、溫度、蝕刻速率和蝕刻均勻性。TEL UNITY 2E 855 DD中的各項功能結合在一起,可實現高度靈活和可重復的過程控制。除了蝕刻能力外，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2 E 855 DD也以其先進的等離子體技術提供了灰化能力。該裝置的用途包括用於制造微電子器件的金屬和電介質蝕刻，以及在半導體基板上的高通量蝕刻和電阻灰化。它配備了一系列安全功能，包括過熱防護和壓力互鎖，以確保設備的安全和安保。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855DD是一種先進的蝕刻器/灰化器,能夠實現非常精確的蝕刻和灰化過程,並具有高度可重復的過程控制。它具有廣泛的特點和先進的技術解決方案，可用於各種工業過程，如制造微電子器件和在半導體基板上高通量蝕刻抗蝕劑。