二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9145476 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD是一種成熟的幹蝕刻設備，設計用於高級器件的高精度蝕刻和新工藝的開發。它具有廣泛的有效功能，能夠對金屬、陶瓷和其他材料的薄層進行精確的蝕刻。該系統集成了DIST-X和DIISET兩個強大的蝕刻源，提供快速穩定的反應性離子蝕刻。此外,它的多等離子體源（MPS）功能有助於改善基板上的均勻性和均勻功率分布,從而確保各種基板上細膩薄層的出色蝕刻質量。TEL UNITY 2E 855DD利用一系列先進技術提供精確蝕刻。該裝置使用先進的阻抗機器，以確保可靠的蝕刻過程和防止電弧。此外,該工具還具有光電控制功能,可實現最佳功率水平。先進的源功率控制技術在基板上提供穩定的高度均勻的功率。該資產還包括多步處理和多渠道處理,可在大型基板上對結構化層進行精密蝕刻。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD還有一個低壓的鎖載室，允許在交換基板時維持負載，並允許更快的處理。該模型包括一個裝有感應耦合等離子體（ICP）源的處理模塊，具有一系列電源輸出，以確保可重復和可靠的蝕刻。該設備還配備了先進的渦輪泵控制系統，以有效地維持低壓蝕刻室條件。此外，TEL UNITY 2E 855 DD設計方便用戶，以便進行高效和有效的蝕刻。用戶友好的多語言用戶界面使操作員能夠快速、輕松、準確地編程和監控蝕刻過程。該單元還包括一臺晶圓映射機，帶有實時的蝕刻配方反饋，用於監控蝕刻過程。蝕刻室可以很容易地進入進行定期維護。總體而言,UNITY 2E 855 DD是一種可靠且高精度的蝕刻工具,適用於各種應用。它結合了高效和先進的技術來提供精確蝕刻的組件。低壓鎖載室和先進的電源控制確保了重復可靠的蝕刻過程。此外,該資產還具有直觀的多語言界面,方便用戶使用,可輕松準確地編程和監控蝕刻配方。