二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9285006 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD是一款最先進的蝕刻器/asher，旨在提供高性能的生產級結果。該設備用於基材成形和堆叠，以及灰泥和蝕刻功能。蝕刻器/asher是一個兩機架系統,包括主蝕刻/灰分機架和離線樣品灰分/蝕刻機架。蝕刻/灰化機架采用高分辨率的直接驅動狹縫閥技術,可確保精確的蝕刻/灰化控制和精度,同時保持最佳的處理環境。該單元還包括一個大功率多軸旋轉晶片自旋模塊，允許高速均勻和精確的基板幾何映射。該機配備了高性能的氣體面板工具，為蝕刻和灰化機構提供雙氣源。該資產具有智能氣體選擇器和再生氣體凈化模塊，可用於優化氣體流量和保持適當的流量調節器。此外，高純度源氣體通過位於中心的氣體輸送模型和定制的氣體歧管輸送，以確保更高的一致性和性能結果。設備配備標準尺寸的4 「x 8」靜電石英管，提供標準蝕刻/灰燼平臺。該系統還具有一個定制的匹配腔室,該腔室可同步供氣,以實現均勻一致的過程,並具有真空密封腔室和廣譜感知器線圈,以實現出色的溫度穩定性。該裝置還可容納從Ar、CO、O2到SF6、CH4、NF3和N2O等先進化學物質的各種加工氣體。此外，通過同步壓力機和自動化過程控制工具實現高精度的過程監控。總體而言,TEL UNITY 2E 855DD是一種高級蝕刻器/asher資產,可提供高性能和生產級結果。該模型具有卓越的再循環氣體控制、高分辨率狹縫閥技術以及多軸旋轉晶片自旋模塊。此外，還設計了智能氣體選擇器和再生氣體凈化系統，以保持反應性和一致的過程穩定性。該設備具有定制的匹配腔室和廣譜感應線圈，能夠實現卓越的溫度控制和高精度的工藝監控。