二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9286043 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD是一種先進的蝕刻器和asher（加工工具），用於化學機械平面化（CMP）制造應用。這種生產過程工具用於蝕刻、去除、沈積和清潔用於制造半導體晶片、PCB板和其他電子元件的各種材料。TEL UNITY 2E 855DD利用化學反應等離子體蝕刻或清潔產品和組件。這一過程使激光能夠蒸發和蝕刻掉基材表面的材料。它還具有50 kHz、1.3 kW的射頻電源，用於產生幹凈、一致、均勻的蝕刻表面。機器還利用壓力和溫度水平來控制基材的蝕刻速率。TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD還具有多種氣體設置，可根據工藝要求進行調整。常見的製程氣體包括氙氣、氧氣、氮氣和氟氣。這些氣體混合物用於促進工藝的蝕刻速率和均勻性。該工具還具有高度精確的石英石英熱敏電阻實用程序，用於測量蝕刻室中的溫度並將其保持在所需的蝕刻和清潔範圍內。UNITY 2E 855 DD還具有觸摸屏顯示控制系統,可輕松訪問與過程相關的信息,如實時蝕刻速率、氣體設置、溫度、腔室壓力等。它還允許用戶根據流程的需要設置蝕刻速率，必要時進行任何必要的調整。所有這些選項都能實現精確和一致的結果。此外，UNITY 2E 855DD還配備了一個12英寸大的垂直鎖室和蓋，有助於最大限度地減少蝕刻過程中的汙染影響。它還具有集成的安全系統,可監控和維護所有過程參數,如電源、氣流、真空、溫度和操作過程中的壓力,從而為操作員提供安心。UNITY 2E 855 DD是一款先進的蝕刻器和asher工具，旨在在CMP制造應用中提供精確、統一、一致的蝕刻和清潔工藝。該工藝工具具有多種氣體設置、溫度和壓力控制、監控和集成安全系統,旨在實現易用性和可靠性能。