二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD #9290492 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DD 蝕刻器/asher是為半導體封裝等先進應用而設計的先進化學加工工具。該產品基於TEL真空腐蝕修復（VCR）技術.蝕刻器/灰化器是一個單室系統，它提供專用的真空源，允許蝕刻和灰化過程在同一腔室中進行。與傳統的多腔室系統相比，這可以在緊湊的外形中實現更好的工藝控制和低汙染。蝕刻器/灰化器具有高能、微波供電的離子源，可以進行高效的離子轟擊，從而實現優越的工藝控制和對多種材料的精確蝕刻。它還可以通過其集成的氧氣註入系統作為一種洗手，以其低濃度氧氣控制協議（OCP）的技術優勢為零件提供優越的清潔。蝕刻器/asher還具有其他功能,可進一步提高蝕刻和灰化精度及靈活性。其中包括變頻電源、改進工藝控制的先進噴嘴設計、改進工藝控制的專利DCMC（擴散冷卻和微波連接）技術、多區氣流調節系統以及一系列工藝控制的噴嘴尖端。蝕刻/ashers的緊湊設計也為設備增加了可靠性和靈活性，允許使用面板、基板和晶圓等多種不同格式。此功能還提供工廠自動化,因為它與標準自動化平臺兼容,以及由於用戶友好的功能和自動化功能而提高了安全性。TEL UNITY 2E 855DD 蝕刻器/asher是一種先進的蝕刻/ashers解決方案,與傳統的多室系統相比,它具有卓越的靈活性、過程控制和可靠性。其微波供電的離子源、變頻電源和先進的噴嘴設計使其成為任何半導體封裝和蝕刻/灰燼應用的理想選擇。由於其占地面積小、安全功能改進以及工廠自動化兼容性,它也是用戶的一個有吸引力的選項。