二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 2E 855 DI #9285005 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DI是一款用於半導體行業的高性能蝕刻設備。該系統非常適合在包括矽、氧化矽、氮化矽和金屬在內的多種材料上蝕刻高精度結構。該裝置能夠產生10至1000 nm的特征尺寸,可用於幹式和濕式蝕刻。機器由兩個主要部件組成；蝕刻室和電源。蝕刻室為蝕刻提供了高真空環境，為蝕刻材料提供了保護氣氛。電源由一個高頻發電機和一個功率控制器組成，產生一個交替的電場來激活蝕刻過程。電能反射回蝕刻室，用來驅動反應物種向工件方向。該工具有一個工藝氣體入口，能夠處理各種氣體，包括CF4、CHF3和ArCl。這些氣體用於在蝕刻室中形成各種化學物質。腔室配有攪拌資產，在腔室內循環過程氣體和高能離子，以確保整個工件均勻蝕刻分布。最重要的是，TEL Unity 2E 855 DI精確度高，可精確控制。數值控制模型能夠改變電參數，如頻率和電流水平，以及調節和維持蝕刻速率。此外，它還能夠精確控制壓力、溫度、氣流等蝕刻工藝參數。綜上所述，TOKYO ELECTRON UNITY 2E 855 DI是一款先進的高性能蝕刻器/asher，用於微電子行業內的精密微結構。該設備能夠精確控制參數，用於整個工件的均勻蝕刻分布和均勻蝕刻成分。產生的交替電場激活蝕刻過程，蝕刻速率得到精確控制，實現了高精度的微結構。