二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY 2E DRM #9145467 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2E DRM是一種高度先進的蝕刻器/asher,用於半導體基板上的蝕刻和ashing電路。它采用了比市場上同類機器更高效、更精確的新設計。TEL UNITY 2 E DRM具有雙軸驅動設備,具有改進的工作臺,可精確對準和控制運動。這可以通過合並兩個線性幻燈片和一個旋轉表來實現。此功能可提高精度和可重復性,這是蝕刻和灰化小圖案和特征所必需的。還采用了先進的伺服系統來改善操作員的控制,並確保正確有效地執行作業。TOKYO ELECTRON UNITY 2E: DRM還包括各種功能,以最大限度地提高生產力和質量。它配備了一個專利陰影面罩單元,允許快速蝕刻/灰循環變化和易於清理。內置反饋機監視蝕刻參數,必要時自動調整設置。此外,TEL UNITY 2E DRM利用自動熱補償功能幫助在整個過程中維護已建立的蝕刻參數。TEL UNITY 2 E: DRM也使用高精度晶圓對準工具。該資產使用激光器和紫外線精確對準晶片進行蝕刻和灰化。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 2 E: DRM還能夠處理具有復雜圖樣的基板,例如具有BGA和電源芯片的基板。UNITY 2E DRM是一款高度先進的蝕刻器/asher,專為實現最高的精度和效率而設計。其高度先進的雙軸驅動模型、反饋設備和晶圓對準系統可實現精確、可重復的蝕刻和灰度處理,而操作員的猶豫很小。對於那些需要可靠、精確的基材蝕刻和灰化機器的人來說,這是一個理想的選擇。
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