二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 855DD #293594402 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 855DD是一款針對從SiO2到聚矽等多種材料而設計的蝕刻器/asher設備。它是一種感應耦合等離子體（ICP）蝕刻系統，允許各種基材精確蝕刻。它還配備了自我清潔功能，以保持較高的操作效率和最小的停機時間。TEL Unity 855DD配備了多種特性，可以與石英、玻璃和金屬等基材配合使用。其加工能力包括氧化物層蝕刻、多矽層、氮化矽層和折射率。它還能夠使用介電、聚酰亞胺和低/高k薄膜。這種蝕刻機也被用於對基板進行高精度的圖樣和剖析。TOKYO ELECTRON UNITY 855DD配備了三頻發生器和頻率匹配模式，可以顯著降低ICP等離子體源的頻率反射。內置頻率調諧器還有助於單元實現精確的ICP等離子體源匹配。它還允許機器加快或減慢蝕刻速率。可用的多種調整選項根據要求優化了不同材料的蝕刻工藝。Unity 855DD還具有智能控制工具,可幫助優化過程。這有助於確保蝕刻過程以盡可能高的精度進行。智能控制資產有助於減少缺陷的可能性，並能夠檢測和補償蝕刻中的任何錯誤。該模型還使用戶能夠回憶以前的作業參數，從而在設置新一批蝕刻時允許快速高效的操作。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 855DD是市場上最先進的蝕刻系統之一，允許對多種材料進行高效、精確的蝕刻。它的多功能性使其成為眾多制造過程的有用工具。利用設備的各種優化和控制功能,可以使用TEL Unity 855DD在任何蝕刻作業中獲得最佳效果。