二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 855DD #9051321 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 855DD是由TEL （TOKYO ELECTRON） Ltd開發的高規格等離子體蝕刻器/aher。這種蝕刻器/asher具有對電路板、SiGe基板、晶片和納米材料提供高精度等離子體蝕刻的能力。它還能夠以極高的精度對相同的材料進行等離子體粉刷。該855DD采用高速脈沖電源設計，具有較高的工作負載能力，最大限度地減少電極磨損。它具有獨立的雙區域等離子體控制，允許蝕刻和灰化加工基板。雙區域控制可實現更高的蝕刻均勻性和過程重復性。該855DD還配備了長壽命的材料混合管，確保在蝕刻和灰化過程周期中基板的均勻冷卻。它們為用戶提供了他們需要做的蝕刻和灰化方面的卓越靈活性。該855DD設有一個48英寸的觀景室，其中包含兩個獨立的蝕刻和灰化系統，還有一個整體水冷系統的電極。該設備可以在操作過程中自動檢測電極溫度，以限制熱應力，從而降低缺陷率，提高收率。855DD可以同時處理基板的頂部和底部表面。這樣可以提高吞吐量,使蝕刻和灰化過程更加一致和高效。該855DD利用高質量的先進工藝控制技術，使用戶能夠準確監控蝕刻和灰化工藝。它還為用戶提供了豐富的過程優化設置,使他們能夠微調蝕刻和灰化過程,以實現正在執行的任何任務的最佳結果。總體而言,該855DD是一款高級蝕刻器/asher,旨在為用戶提供卓越的蝕刻和灰化功能。它具有高精度的等離子體控制、高工藝吞吐量和先進的工藝控制功能，為用戶提供了一個非常高精度的易於使用的蝕刻和灰化解決方案。