二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD/W1 #293585754 待售

TEL Unity 85DD/W1是為超高吞吐量應用程序而設計的蝕刻器/asher。它提供了高級功能,增加了生產吞吐量和高級晶圓級工藝控制。Unity 85DD/W1配備了強大的等離子體源、低壓幹氣室、先進的晶圓對準系統和精細的可編程數字邏輯，用於精確控制各個工藝步驟。Unity 85DD/W1的源選項是RF和DC。可用於蝕刻多種材料，包括導體、電介質和有機物。射頻源在600 kHz至200 MHz的頻率範圍內運行，可用於清潔、剝離層，並在金屬等硬質材料中實現更深的蝕刻。直流光源在低頻（最高5kHz）下運行，可用於蝕刻較軟的材料，如有機物和蝕刻微米尺度特征。Unity 85DD/W1提供了一個低壓幹室，能夠在將蝕刻過程氣體引入腔室的同時將腔室壓力維持在>0.25 torr。腔室壓力自動監控；這樣可以實現精確的過程重復性和控制以及更精確的晶圓對齊。Unity 85DD/W1的核心是大型數字邏輯,可根據用戶需求靈活地編程自定義蝕刻和剝離序列。數字邏輯還提供了快速、出色的數據處理功能,可以即時進行精確的性能調整。Unity 85DD/W1還具有先進的晶圓對準系統。晶片首先加載到晶片盒式磁帶上，然後放置在高精度手推車上，手推車進入蝕刻室。然後，機器人手臂移動到手推車的位置，在蝕刻前精確對準晶片。Unity 85DD/W1是一款高級蝕刻器/asher,具有令人印象深刻的一系列特性和功能。其先進的等離子體源、低壓幹室、數字邏輯和晶圓對準系統使其能夠實現精密控制的超高通量過程。Unity 85DD/W1是高級應用程序的首選蝕刻器/分離器。