二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD/W1 #9383235 待售

TEL Unity 85DD/W1是一種蝕刻器/asher，或半導體制造中使用的一種等離子體蝕刻器。它旨在創建具有高精度和重復性的蝕刻、刻錄和輪廓特征,從而即使使用復雜的圖案也能實現一致和準確的輪廓創建。Unity 85DD/W1使用稱為定向能量沈積的過程,在各種需要的蝕刻、燃燒和剖面圖區域中快速準確地去除材料。該單元配有12英寸晶圓傳輸系統和氣體測序系統（GSS），以最佳控制每個芯片的工藝條件，實現高保真定向能量沈積。它提供了從室溫到500 °C的溫度控制和各種蝕刻氣體，允許快速蝕刻和燃燒時間，即使是復雜的模式。為確保最精確的蝕刻和燃燒，Unity 85DD/W1還提供了一種原位光譜儀，用於測量蝕刻劑濃度和監測蝕刻過程。光譜儀還可確保盡可能實現最一致的流程,並可根據客戶的要求進行定制（如果需要）。TOKYO ELECTRON UNITY 85DD/W1還設有自動沈積控制裝置（ADCU）,該裝置自動調整蝕刻或燃燒參數,以最節能的方法實現可靠的沈積。ADCU利用許多傳感器和反饋回路來保持穩定的溫度和最佳的沈積能量。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DD/W1是一款極其精確可靠的蝕刻器/asher,專為滿足要求苛刻的半導體制造需求而設計。憑借其強大的定向能量沈積系統、原位光譜儀和自動沈積控制單元，該單元可提供高精度的高質量蝕刻和燃燒效果。這使得它成為創建最復雜和最復雜的模式的絕佳選擇。