二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DD #293827845 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DD是一種自動化和可編程的蝕刻器/asher，用於制造和生產半導體晶片。本機由負載鎖室、靜電卡盤、反應性離子蝕刻（RIE）工藝和物理氣相沈積（PVD）系統四個基本部件組成。鎖載室是一個封閉的環境，具有超高真空條件，允許底物的裝卸。內部溫度是可變的，因此可以執行不同的應用，並且采用一個接一個的方法可以裝卸蝕刻氣體。靜電卡盤允許晶片在蝕刻/灰化過程中保持在適當位置。RIE工藝用於蝕刻,物理氣相沈積（PVD）用於灰化工藝。RIE過程涉及在基板和卡盤之間施加電壓,從而產生電場。該電場允許產生等離子體放電，從而取代圍繞基板的沈積材料。PVD過程涉及通過轟擊具有高能源的氣體分子來創建一層材料。這種能源可以是高頻功率或離子束能量，例如在TEL Unity 85DD asher/etcher的情況下的氙離子。由於TOKYO ELECTRON UNITY 85 DD的獨特能力，製程時間可以利用自動硬體和進階軟體進行優化。該設備的接口包括一個電容觸摸面板和一個傳感器，用於監控應用過程的各個階段。根據具體應用，這種設備可以處理高達8英寸的晶片尺寸，並具有優化蝕刻均勻性、蝕刻速率、加工時間和顆粒控制以提高產量的功能。總體而言，TEL UNITY 85 DD是為制造和生產半導體晶片而設計的先進蝕刻器/asher。該設備具有直觀的用戶界面、自動化硬件和集成軟件,從而可以優化過程時間。它可以處理最大8英寸的基材尺寸，以及蝕刻均勻性、蝕刻速率、加工時間和顆粒控制等特性，以提高特定應用的產量。