二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 85DI #9092959 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Unity 85DI是一款專為卓越精度、可靠性和性能而設計的專用蝕刻/灰化設備。它是光掩模制造的高端工具，特別是在半導體和MEMS行業。系統提供了一系列功能,允許用戶精確控制其蝕刻圖案的寬度、深度和均勻性。TEL Unity 85DI采用體積制造技術（VMT）來精確控制每個曝光和蝕刻步驟。這包括最大化均勻性和精確解析精細模式。可以使用一系列曝光工具（如SxV掩碼對準器和E-beam writer）來創建光掩碼。這個單元被設計成在一個步驟中精確地把圖案變成一個薄膜基板。TOKYO ELECTRON UNITY 85DI支持多種蝕刻技術，包括等離子體亞灰燼、等離子體灰燼和濕工藝處理器。例如,Plasma Sub-Ashers提供了先進的等離子體蝕刻和幹蝕刻、幹灰化和幹剝離功能。用戶會發現這些工具對於創建小型接觸模式非常有用,尤其是對於諸如MEMS制造等應用程序。Unity 85DI還提供了一套全面的安全和環境功能。其中包括多種化學密封系統，包括流體過濾機和化學廢物處理工具。此外，該工具還配備了手套汙染控制（GCC），以幫助降低晶圓間交叉汙染的風險。此外，該資產的設計是為了方便用戶和高效。它帶有直觀的GUI,同時還提供操作員在線感測和過程監控功能。這允許用戶遠程觀察整個蝕刻和灰化過程。該模型還提供各種高端自動化選項,以幫助管理和優化生產流程。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 85DI是光掩模制造和MEMS制造的理想工具,因為它具有卓越的精度、可靠性和性能。它還為用戶提供了出色的安全功能和優化生產流程的能力。總體而言,TEL Unity 85DI是任何制造實驗室的重要補充。