二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity 88DD #146068 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY 88DD是為先進的半導體加工而設計的蝕刻器/asher。具有超大陽極尺寸的手持式光頭，是高長寬比特點的高效蝕刻和灰化工藝的理想選擇。此蝕刻器/Asher具有兩步蝕刻工藝,可提供精確的結果,同時提供最小的碟片、側壁粗糙度和蝕刻損壞。這允許更高的地形，以及高長寬比和高長寬比線性，從而提高產量。此外，TEL Unity 88DD的高分辨率光頭為所有蝕刻和灰化應用提供了卓越的分辨率和銳利的邊緣清晰度。TOKYO ELECTRON UNITY 88DD的另一個特點是，一種高溫氙氣等離子體源，它使工藝具有靈活性，並提高了所有幹蝕刻應用的選擇性。主動提升功能可用於創建達到厘米深度的結構,從而實現更大的過程重復性、均勻性和控制。Unity 88DD的高級系統管理包括一臺主機計算機，用於顯示流程、設置和配方數據，以及溫度和壓力監控系統。這使用戶能夠同時監視多個參數並同時查看參數,以確保完整的流程準確性。遠程操作員界面提供對所有組件的即時訪問,以促進有效的流程管理和故障排除。最後,TEL/TOKYO ELECTRON Unity 88DD是為長期可靠性和可靠性而設計的,其生命周期可達100,000次操作,確保用戶獲得最高的可靠性和性能。TEL Unity 88DD是用於先進半導體加工的最先進的蝕刻和asher應用的最佳選擇。