二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #133474 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是為半導體市場設計的最先進的蝕刻器或asher。TEL Unity EP具有無與倫比的處理功能,可確保精確、可重復的設備幾何形狀,而與應用程序無關。TOKYO ELECTRON UNITY-EP基於高度模塊化的設計理念，使其能夠量身定制以滿足廣泛的需求。該系統包括三個主要特點：一個工藝室、一個電源和一個微處理中心。另外還包括三個模塊，提供晶圓加工、濕式臺式清潔和蝕刻傳感能力等附加功能。TEL UNITY-EP的加工室由不銹鋼構成，具有高溫膨脹系數。該腔室的設計能夠承受惡劣的加工條件，並且能夠連續運行長達一年而無需維護。頂部安裝的負載鎖允許高速處理和快速訪問基板。TOKYO ELECTRON UNITY EP中使用的電源是一種四級直流脈沖控制系統，可在廣泛的工藝條件下產生精確、可重復的蝕刻參數。這樣可以確保精確的幾何形狀和精確的密度控制。UNITY-EP的核心是微處理中心，它基於最新的技術。這個微處理核心包括精密的本地和全球溫度控制、先進的過程監控和PD檢測。該系統還包括一個配方編輯器，允許用戶設置和自動化他們的蝕刻配方。Unity EP的另外三個模塊提供了額外的處理功能。晶圓加工模塊是為最大限度地提高工藝吞吐量和消除顆粒汙染而設計的。濕式臺式清潔模塊有助於確保以清潔高效的方式精確蝕刻。最後，蝕刻傳感模塊提供了關鍵蝕刻參數的精確監測和檢測。總體而言，來自TEL的TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP是一款設計用於半導體行業的高度先進的蝕刻器或asher。它的功能就像一臺上油良好的機器，無論工藝條件如何，都能提供精確和可重復的幾何形狀和密度控制。該單元還有一個強大的硬件和軟件模塊集群作為後盾，允許用戶量身定制該單元以滿足他們的需求。