二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9084597 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是為電子制造應用而設計的高精度蝕刻/灰化設備。它具有100 nm控制穩定性的高精度蝕刻/灰化系統,能夠蝕刻/灰化厚度在200 nm至10mm之間的半導體基板。TEL Unity EP具有一個連續可調節長寬比窗口（CARW）,允許建立用戶定義的長寬比窗口。這樣就可以精確地蝕刻/粉刷特定的設備幾何形狀。該機還配備了高分辨率激光對準機，以提高精度和可靠性。TOKYO ELECTRON UNITY-EP利用高真空（<25 mbar）提高蝕刻/灰度性能。這樣可以確保清潔高效的蝕刻/灰化循環。該工具還包括一個高真空負載鎖，可安全地將晶片送入和送出資產。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP具有先進的運動級控制器功能,可實現高速操作。車型配備了高精度的機電定位設備。這確保了蝕刻或粉刷圖案的精確放置。TOKYO ELECTRON UNITY EP提供了一個強大的軟件套件，用於控制預編程和可定制的蝕刻/ashing過程。這包括高級流程控制功能。該軟件包括一個圖形用戶界面,它簡化了蝕刻/ashing過程設置,並為用戶提供了高級監視和控制功能。TEL UNITY-EP非常靈活,可以配置為適合各種制造應用程序。可用於蝕刻/灰化包括矽、復合半導體、III-V材料在內的多種基板。它也可用於在單個晶圓上執行多個蝕刻/灰分過程。UNITY-EP是一個可靠、高性能的蝕刻/灰化系統,為用戶提供關鍵電子制造應用所需的靈活性和準確性。