二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9161272 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP（電子束粒子蝕刻器/Asher）是一種高度精確且用途廣泛的裝置，可以蝕刻多種材料，包括金屬、陶瓷和聚合物。TEL Unity EP能夠輕松地進行蝕刻,其質量很難與其他蝕刻器相匹配。TOKYO ELECTRON UNITY-EP具有高達2微米的超精確微加工精度,可實現更深、更精細的特性,具有卓越的重復性和緊密的公差。與其他蝕刻器相比,Unity EP具有許多明顯的優勢。其掃描電子束技術進一步增強了其功率和分辨率，使其能夠以最小的最小特征尺寸快速蝕刻。它的可變粒子輸出和偏轉設備控制也允許最大化蝕刻速率和優化。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UNITy-EP的閉環熱控制有助於減少晶圓加熱，產生更一致的結果，提高工藝的重復性。TOKYO ELECTRON UNITY EP提供了蝕刻多種材料的能力，包括金屬、陶瓷、聚合物，甚至多層光掩模。這種多功能性使得它成為從電子到納米技術等眾多行業的寶貴工具。此外，其先進的光束點聚焦系統在與溫度補償和腔室壓力控制相結合的情況下取得了較好的效果。UNITY-EP除了具有高精度蝕刻能力外，還配備了一大堆功能，以實現高級工藝控制。例如，它的並行處理方法允許同時蝕刻多達四個基板，而其樣品處理單元設計用於快速晶片裝卸。它還利用復雜的軟件控制，用於高級蝕刻技術，如即時蝕刻和使用多束。最後,它的零件維護功能包括清潔、改造和濺射,以獲得最佳的基板性能.TEL UNITY-EP是一種可靠且用途廣泛的蝕刻器/asher,非常適合各種應用。它能夠以卓越的精度和可重復性對材料進行蝕刻，從而實現近乎完美的微加工效果。其簡單而強大的控制系統和並行過程方法可用於最大程度地提高蝕刻速率和過程優化。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP將這些特性與先進的光束點聚焦機相結合，成為現代微加工和蝕刻應用的寶貴工具。