二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9180754 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款面向半導體行業的最先進的蝕刻器/asher。它是一種具有先進功能的工具，可提高蝕刻速率，提供均勻的蝕刻和優異的工藝再現性。利用電子束和離子束輸出的雙能量操作，對材料進行精確的圖樣設計。它是產生排便最小化的高產模式的有力工具。TEL Unity EP的主要特點是其能幹的放電室和其堆叠結構處理序列。其放電室內襯高效絕緣體，防止熱量改善，而高效氣室為蝕刻或灰化過程提供了理想的精度。這可以通過高度精確的3維陣列實現,該陣列可實現兩步蝕刻（或灰化）。TOKYO ELECTRON UNITY-EP還提供了一種改進的供氣設備，具有配電式供氣和新設計的噴射系統。前者提供更均勻的氣體輸送，後者提供更高的氣體壓力，使得能夠在廣泛的基板上進行均勻的處理。Unity EP還支持使用高級性能控制軟件Multi-Etch Plan （MEP）。這允許用戶輕松控制設備的蝕刻和基板溫度、蝕刻速率以及氣體混合設置。此外,MEP可用於存儲長達20天的數據,以便用戶記錄和跟蹤其蝕刻過程歷史記錄。TEL UNITY-EP還具有標準的設備管理單元。這允許設備進行遠程操作,並且還包含有關設備特定硬件和軟件信息的信息。最後，有一個全面的維修機器。此工具允許操作員管理和監視蝕刻和灰化過程、錯誤歷史記錄以及日常維護。總之，UNITY-EP是一種先進的蝕刻器/asher，側重於提供均勻的蝕刻和優異的工藝再現性。其高度先進的功能允許對材料進行精確的制圖、改進的供氣系統以及全面的維護資產。這種蝕刻器具有強大的能力，能夠以最小的排便產生高產模式，是半導體工業中不可或缺的工具。