二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9188580 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款先進、高性能的電子束蝕刻器/asher。它采用高通量加工和低能蝕刻的獨特組合，在各種材料上創建高度精確的圖樣。TEL Unity EP利用閉環電子束掃描設備和多種模式生成技術，在各種基板上創建精細的表面特征。為保證高精度，TOKYO ELECTRON UNITY-EP配備了極精確的束位置控制系統和先進的高速束偏轉控制單元。閉環電子束掃描機能夠在大面積上提供均勻的蝕刻模式。該機還能夠通過匹配相同的光束位置來對齊不同的工藝特征，以確保可重復性。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP配備了強大的半導體模式發生器。這種模式發生器能夠快速創建高度復雜的模式，用於蝕刻基於矽的晶片等材料上的精確特征。Unity EP創建的高度詳細的模式允許使用傳統的「空白」方法無法實現的高度高級蝕刻技術。使用TEL UNITY-EP進行蝕刻可在極低的處理溫度下實現高通量操作。這種低能蝕刻工藝降低了高溫梯度造成蝕刻不均勻的風險。這種蝕刻效率使它能夠在保留基板核心特性的同時創建復雜的圖樣。該機還能夠檢測邊緣銳度，以及控制蝕刻特征的角度和長寬比。TOKYO ELECTRON UNITY EP還具有高分辨率視頻可視化工具和精確的束能控制功能。此資產可提高模式創建的精度,並允許模型在整個晶圓中正確匹配模式。總體而言，UNITY-EP是一種功能強大且高度精確的電子束蝕刻器/asher，被認為是創建超精確圖樣的行業標準。