二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9208203 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是為超高分辨率、高通量處理而設計的先進蝕刻/灰燼設備。該系統主要有三個組成部分：基站、精密等離子體源和可移動腔室。基站提供過程控制和監視器接口。等離子體源提供高能、高密度的等離子體，確保最佳蝕刻和灰化性能。可移動腔室可容納工件，提供理想的腔室條件，便於不同蝕刻/灰化工藝之間的交換。該單位配備了多種流程控制和監控系統，以確保高效準確的處理。前置等離子體源由先進的數字電源調節，它為每個循環提供精確和一致的功率水平。機載機器診斷系統監控工件溫度、等離子體放電、蝕刻/灰分速率等變量，允許及早檢測過程偏差。還包括其他工具安全功能,以保護設備和環境的完整性。TEL Unity EP能夠處理各種蝕刻和灰化過程，包括等離子體蝕刻、濕蝕刻、物理蝕刻和隔離蝕刻。通過資產的可編程控制模型支持等離子體蝕刻和物理蝕刻。復雜的蝕刻和灰化過程可以快速準確地執行,從而實現高吞吐量過程。TOKYO ELECTRON UNITY-EP還融合了自動診斷和內聯傳感器等多種高級功能，允許實時的過程觀察和控制蝕刻/灰度循環。UNITY-EP專為強健、高精度的處理而設計。該設備采用先進的微處理技術和閉環控制，提供高精度和重復性。該系統還具有很高的能效，允許較長的過程周期和最小化的能耗。測試用於設備的所有組件的最佳性能,以確保最大性能和可靠性。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP是一款專門為超高分辨率處理而設計的蝕刻/灰燼機。該工具具有先進的工藝控制系統、精密等離子體源和可移動腔室，可確保各種蝕刻和灰化工藝的最佳蝕刻和灰化性能。該資產具有高能效和可靠性,為高性能、高通量處理提供了可靠的解決方案。