二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9236828 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款高級蝕刻器/asher。適用於TFT-LCD、OLED、IC、MEMS制造等多種應用。它以出色的蝕刻和灰化性能以及對高級工藝的支持而聞名。TEL Unity EP是一款多站、多燃氣蝕刻器/asher。它能夠對蝕刻速率、均勻性、選擇性、側壁輪廓和無汙染表面提供精確的工藝控制。它有一個自動充電補償系統，以確保一致的過程結果，無論基板的質量或分層。它還配備了先進的氣體輸送和質量流量控制系統，以支持比傳統蝕刻機快十倍的蝕刻速率。此外，它還能夠支持具有多個蝕刻源和多種氣體的復雜過程。此外，TOKYO ELECTRON UNITy-EP提供模塊化設計，簡化並加速維護與整合。它確保安裝和維護asher所需的零件和組件更少。它還提供了增強的監測系統，以提高生產力和過程穩定性。過程控制系統具有直觀的圖形用戶界面，允許簡單的過程設置和配方開發。Unity EP非常適合廣泛的應用,它具有先進的蝕刻和遮光專業知識以及對現代工藝的支持。它提供先進的過程穩定性和控制,為批量生產提供經濟高效的解決方案。此外,它能效高,是環保制造商的絕佳選擇。