二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9237259 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一款為光伏電池應用而設計的蝕刻/asher設備。該系統是TEL和TOKYO ELECTRON之間的協作，每一個都提供自己在該領域的獨特專業知識。它旨在提供穩定、均勻的蝕刻和灰化工藝，以提高光伏電池的效率和產量。TEL Unity EP集成了一個2腔先進的設計，圍繞著一個新開發的晶圓船結構建造，該結構經過優化，可以對薄矽晶圓進行均勻蝕刻和灰化。該單元設計為允許最佳晶圓均勻性和可重復性，具有獨特的等離子體輸送機，減少等離子體能量的差異，從而減少加工變化。該工具進一步采用了真正的兩件式晶片船設計，大大提高了晶片批次頂部和底部的蝕刻均勻性。此外，先進的晶圓船設計與再生排氣資產配合工作，以確保所有等離子體處於均勻的溫度，從而實現一個一致的過程。TOKYO ELECTRON UNITy-EP還提供了最高的等離子體功率密度，確保了光伏電池的出色蝕刻。通過增強的蝕刻均勻性,TOKYO ELECTRON Unity EP在蝕刻均勻性方面比行業標準提高了6倍。它還為蝕刻和灰化提供了廣泛的工藝配方,為用戶定制工藝提供了更大的靈活性。Unity EP還配備了晶圓損耗計數器型號、自動調諧等離子控制、遠程診斷等先進功能。這些特性結合實時晶圓溫度讀出等強大功能，使TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-EP成為光伏電池處理應用的理想選擇。TEL UNITY-EP是一種綜合性的光伏電池處理工具。其先進的蝕刻和灰化能力，結合可靠的工藝配方和先進的特點，使其成為任何光伏電池開發商或研究者的絕佳選擇。而且UNITY-EP提供了提高的工藝效率和產量，讓光伏電池開發者從他們的電池中獲得最大的生產力。