二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9283079 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP（又稱蝕刻器/asher）是一種高度先進的基於等離子體的蝕刻和灰化設備，用於快速、清潔和均勻的樣品處理。它結合了等離子體蝕刻和灰化的能力，這是一個為了制造微電子裝置而去除材料的過程，成為一個緊湊的自動化單元。TEL Unity EP利用空心陰極介電屏障放電（HDBD）等離子體源的功率來實現高蝕刻速率和基板選擇性。這項技術設計用於濕法和幹法,使用戶能夠靈活處理不同類型的樣品。該平臺基於直觀的開放式體系結構，對所有流程提供完全可編程的控制。TOKYO ELECTRON UNITy-EP還具有直觀的用戶界面和圖形顯示功能，允許用戶監控蝕刻和灰化過程參數。此系統可用於以10微米或更高的分辨率對電路板進行圖樣繪制,並通過0.5mm材料進行蝕刻。TOKYO ELECTRON UNITY EP單元針對集成電路（IC）生產進行了優化，並提供了幾個方便IC制造的功能。例如，機器上裝有一個石英基板支架，能夠進行高溫操作，適合與氮氣、氙氣、氧氣、氙氣-氧氣混合物等蝕刻氣體一起使用。它還可以在廣泛的參數範圍內實現較高的蝕刻速率。平臺還包括氣體檢測、超壓保護、惰性氣體循環等幾個安全功能。此外，該工具還配備了一個離子陷阱，用於減少等離子體蝕刻過程中等離子體源的不穩定性。此功能可確保蝕刻過程的可靠性和可重復性。Unity EP還具有高度的靈活性，支持廣泛的蝕刻化學和底物。它能夠處理非導電材料和導電材料，如聚合物和金屬，並且適合在基板上蝕刻各種通風孔、接觸孔和特征。其龐大的資產量還使用戶能夠輕松容納大型基板，同時蝕刻多個樣品。總體而言,UNITY-EP是一種功能強大且用途廣泛的蝕刻和灰化模型,能夠處理各種基材和蝕刻工藝。憑借其先進的功能和直觀的設計,它是IC制造行業中快速、清潔和均勻的樣品處理的理想工具。