二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity EP #9366422 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY EP是一種高度可靠的自動化蝕刻/asher設備，用於半導體晶圓的制造。它使用紫外線光源系統、光阻測量系統和輸送機系統在晶片上蝕刻、沈積和帶狀圖案。結果是提高了產品產量和質量。TEL Unity EP系統以最大容量200 mm晶圓的電子束蝕刻室、最大容量300 mm晶圓的等離子體灰燼為特色。適用於蝕刻和灰化多種材料，包括GaN、Ga As、SiC。該裝置還配備了PAR（照片/酸/抗蝕劑）APx測量機，用於測量晶片上的電阻率和暴露區域。該工具是高度模塊化的,這意味著可以輕松交換組件,從而實現更高級別的靈活性。組件包括紫外線光源、掩模對準器、光刻膠輸送資產、紫外線固化模型、輸送機設備、邊緣取珠系統、激光麥克風、紅外掃描儀和晶圓冷卻裝置。對所有組件進行編程以優化蝕刻、灰化和數據收集過程。這反過來又能提高產品產量和質量。TOKYO ELECTRON UNITy-EP配備了TEL「實時蝕刻監控」（RETM）Technology，可以讓用戶實時監控蝕刻進度。這使用戶能夠快速調整以幫助減少缺陷並提高產品質量。該單元還具有遠程進程監視和記錄機，允許用戶記錄和監視蝕刻過程和結果。統一平臺將蝕刻機、等離子體粉碎機、灰後工藝設備結合為一個平臺，提供了高度的靈活性和成本效益。集成架構允許快速處理和低維護，使其成為半導體晶圓制造操作的理想選擇。