二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IeM #293807031 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IEM（幹條蝕刻機械）是最新的幹膜蝕刻技術。TEL Unity IEM能夠在包括矽等半導體材料、金屬、絕緣體和有機材料在內的各種基板上進行高精度蝕刻。也適用於表面清潔、氧化物去除、摻雜等蝕刻後工藝。TOKYO ELECTRON UNITY IEM具有強大的設計和三個獨立的工藝室,能夠一起處理直徑可達500 mm的工藝作業。它具有高度的蝕刻精度，由空氣加熱器、強制空氣冷卻和集成過程控制設備組成。空氣加熱器允許精確復制設定的工藝配方，使最終產品均勻蝕刻。強制空氣冷卻系統快速冷卻基板，避免不希望的熱膨脹和提高產品性能。工藝控制單元還允許精確蝕刻,因為它繼續監視條件,因此操作員可以根據需要調整工藝參數。Unity IEM使用安全高效的消耗性技術，每種基材的蝕刻材料釋放量都恰到好處。它還具有可靠的疏散功能，確保蝕刻器產生的磁場不會到達基板，從而防止損壞或汙染。此外,TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IEM具有直觀的GUI,可用於提供配方步驟的詳細說明,從而幫助操作員了解過程中所做的任何更改。此外,TEL Unity IEM設計方便用戶-允許操作員調整蝕刻配方參數,如時間、壓力和強度,而無需單獨的控制機器。這還允許對蝕刻過程進行完全自定義,從而使用戶能夠根據自己的特定需求定制其過程。綜上所述，TOKYO ELECTRON UNITY IEM是一款功能強大的幹膜蝕刻工具，旨在實現對多種基材的精確蝕刻，從而實現高效的產品定制。它憑借空氣加熱、強制空氣冷卻、集成過程控制技術提供了優越的性能，而其消耗性技術和可靠的疏散有助於保持高效安全的運行。此外,用戶友好的GUI沒有出錯的余地,因此無需單獨的控制資產即可輕松調整蝕刻配方參數。借助Unity IEM,企業可以擁有一個可靠的幹膜蝕刻解決方案,適合其獨特的參數和要求。