二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IeM #9128639 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IeM是一款下一代蝕刻器/asher，旨在提供高度精確可靠的蝕刻和灰化解決方案。此蝕刻器/asher采用先進的蝕刻技術進行設計,以實現寬廣的工藝窗口、改進的工藝一致性以及與設備組件的更好集成。它具有獨特的全光譜蝕刻工藝控制,可提高蝕刻步驟的均勻性、更高的吞吐量和更好的鈍化性能。它還包括用於配方開發的易於使用的控制設備,以及用於確保一致和可重復結果的高級機械模塊（AMM）。TEL Unity IeM適用於多種蝕刻和灰化應用，包括高級封裝、MEMS和晶圓級封裝。其先進的設計提供了可靠的性能，提高了生產效率，提高了系統的統一性。它使用高性能的輕元素在大面積上創建均勻的照明,從而獲得高效的蝕刻結果。創新的多頭蝕刻單元（MHES）設計用於在單個機器中同時蝕刻和灰化過程,從而使刀具更小、速度更快,並提高了性能和靈活性。TOKYO ELECTRON UNITY IeM包括一個專利真空室設計,用於出色的蝕刻步驟均勻性和過程控制.資產還包括一個先進的機械捕獲釋放模型，以有效地處理樣品。產品還設計方便安裝，並與其他設備部件集成。該設備還包括配方開發軟件，以確保準確的結果。最後，蝕刻器/asher系統包括各種安全功能，包括緊急關閉單元和內置的警告燈和警報。總體而言,Unity IeM是下一代蝕刻器/asher,旨在提供高度準確和可靠的蝕刻和灰化解決方案。它具有先進的蝕刻和灰化技術、易於使用的控制系統以及多種安全功能,以確保準確和可重復的結果。這臺機器適用於蝕刻和灰化多種先進技術，包括先進包裝、MEMS和晶圓級包裝。