二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 850DI #9092958 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 850DI是一款為中等規模工藝而設計的可靠、高性能的蝕刻器/asher。它具有出色的蝕刻和灰化能力、高吞吐量和可重復的工藝結果。TEL Unity II 850DI是一種感應耦合等離子體（ICP）蝕刻器/引導器,能夠以高達1000W的等離子體源功率運行。它由一個獨特的八面體電極反應器構成，能夠高效地傳遞高等離子體功率，提供強大、高效的蝕刻和灰化。該設備還具有高精度晶圓/氣體對齊器和低摩擦運動系數系統，可最大限度地提高陣列的均勻性，提高加工精度。該單元配備了一個獨特的ET控制算法，可以自動調整氣體流量，以及外部壓力控制。控制算法能夠自動補償氣流和壓力變化，同時保持工藝條件均勻，最大限度地減少線緣粗糙度，提高工藝重復性。該機還包括提供實時氣體壓力和流量測量的氣體輸送線監測器。該工具還具有高精度零件加工的能力，並具有獨立的腔室加熱能力，以提高溫度均勻性和可重復性。它帶有內置的AR/VF詳細信息以及可變電暈控制功能,可用於可靠的SE/BE/Z-Corona源。現場診斷確保晶片處理的一致性，而自適應反應性氣體監測器根據工藝條件自動調整。TOKYO ELECTRON UNITY II 850DI還提供卓越的性能和超低二氧化硫使用量。它具有先進的晶片處理能力，如原位晶片小齒輪和用於高精度晶片對準的等離子體導軌，此外還有一個不需要預熱時間的高可靠性晶片表。資產符合現代監管標準，限制顆粒物和二氧化硫排放。Unity II 850DI是高級蝕刻和灰化工藝的理想選擇,可重復性、可靠性和卓越的工藝能力。憑借其高吞吐量、高效率的運行、極低的二氧化硫排放和就地診斷，它旨在全面滿足所有客戶的期望。