二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 855SS #9179093 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 855SS是為最苛刻的工業應用而設計的下一代蝕刻器/ashrer。該設備是用於細線特征和半導體產品的可靠、高效的蝕刻/燒蝕工藝。它有一個直觀的人機界面與用戶友好的程序和一個優化的彩色監視器精確控制蝕刻/灰燼過程。該工藝可以有效地工作在小至0.25微米的元件上，並且能夠蝕刻/灰化高達150毫米的晶圓。它配備了用於有效熱處理的高容量500立方米/秒幹空氣退火系統，以及全功能、自動響應的晶圓傳輸單元。機器的低壓蝕刻/灰燼產生高質量的蝕刻/灰燼圖樣,材料損失最小,並且具有快速切換蝕刻/灰燼的功能,以及提高生產率的機制。該工具包括用於精確故障確定的高級診斷程序和晶圓召回的主文件,以便快速高效地恢復生產。該單元還具有高精度的E-Gun和B-Gun控制功能，以及光束傳遞控制，以加快工藝周期。總體而言,TEL Unity II 855SS是一種可靠、高效的蝕刻/灰燼資產,可有效生產高質量的細線特征和半導體產品。