二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DI #293829317 待售

ID: 293829317
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Oxide etcher, 8" (2) Chambers Chamber type: IEM 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 85DI是一款先進的蝕刻設備,旨在滿足等離子體、濕化學和抗蝕刻工藝的嚴格需求。它具有先進的固態電源,可讓用戶準確設置流程參數,同時消除不必要的維護。這種通用系統能夠處理直徑在75至450mm之間的基板,包括印刷電路板和半導體晶圓。通用基板支架能夠安裝標準基板和專用基板,各種可選基板可用於特定應用。該裝置采用先進的流量控制機,提高了蝕刻的均勻性和均勻性。此控制工具可對最先進的蝕刻工藝精確有效地控制溫度、壓力和蝕刻速率。此外,該資產還配備了先進的計時模式,以確保蝕刻率的均勻性。TEL Unity II 85DI帶有一個精確的單個凹陷單元,可以在整個蝕刻過程中準確、安全地固定基板,以及先進的晶片監控設備,以確保整個晶片上均勻的蝕刻結果。溫度控制、飛行時間控制以及全面的用戶界面等新功能為系統增加了便利性和用戶友好性。該裝置還包括一臺先進的安全機器,以確保用戶和蝕刻工具的安全。安全工具包括一系列警報,當資產設置過高或蝕刻速率過慢時會響起。此外,為確保晶片和基板的均勻性和適當清潔,該模型配備了精密石英噴嘴和洗滌刷。TOKYO ELECTRON UNITY II 85DI提供先進的蝕刻加工能力,適合多種蝕刻工藝。其精密的流量控制設備、先進的定時系統和安全單元相結合,使其成為可重復、準確蝕刻結果的高度可靠的機器。
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