二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II 85DRM #9112879 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II 85DRM是一種蝕刻器/asher，設計用於在基板上沈積和蝕刻多種材料。該儀器使用兩組反應性氣體：用於蝕刻的低壓區（LPA）和用於沈積的高壓區（HPA），兩者均通過端部安裝的超高真空室提供。控制腔室內部壓力，確保化學反應以理想速率和溫度發生。該系統利用兩個獨立的工藝模塊提供有效的物料加工。第一個模塊是電子束蒸發器，在廣泛的壓力和溫度範圍內運行，以便在基板上沈積幾納米厚的多層薄膜。電子束蒸發器能夠沈積金屬、氧化物和電介質或材料，可能會受到進一步復雜的處理。第二個模塊是一個集成的端站，由一組物理和化學蝕刻工具組成，如等離子體蝕刻、濺射蝕刻、離子銑削和冷等離子體濺射蝕刻。等離子體蝕刻，又稱化學氣相沈積（CVD），利用高能離子打破化學鍵，創建一個可以針對所需材料量身定制的等離子體場。在濺射蝕刻中，材料被施加高壓電場侵蝕。除了低得多的溫度外,用冷等離子體進行離子銑削和濺射蝕刻也有類似的作用.TEL Unity II 85DRM還包括了幾個附加功能，如多過程噴嘴配置、過程控制和槍支控制系統，以及運動控制系統。工藝噴嘴配置可以用來配置孔的數量和類型，以及它們之間的距離，允許用戶生成線條、圓形或其他結構。工藝和槍支控制系統允許用戶調整工藝參數，以精確地將物料沈積在所需的圖樣中，而運動控制系統則提供兩個線性軸，使得基板在加工過程中能夠精確移動。總體而言，TOKYO ELECTRON UNITY II 85 DRM是一種高效可靠的蝕刻和塗覆工藝工具，為用戶提供一系列功能，幫助他們執行準確可靠的工藝。它有兩個獨立的模塊,非常適合創建和設計納米結構,是節省時間和成本的絕佳方法。