二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #159332 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II （TEU）是一款先進的asher/etcher,在半導體和納米技術制造中有著廣泛的應用。它能夠提供高質量的統一蝕刻工藝,並提供一定程度的工藝靈活性和吞吐量。TEU有一個真空室，帶有一個2.75英寸的圓形加工窗，可以容納兩艘6英寸或8英寸的晶圓船。工藝室的溫度可以控制在環境和350°C之間，從而實現了廣泛的化學過程。TEU還具有無氦冷卻配置,非常適合低溫下的化學過程並防止晶圓損壞。TEU采用化學氣相沈積（CVD）工藝，涉及將氣態試劑通過工件表面，以便沈積材料薄膜。TEU中的大氣壓CVD工藝可以在任何給定時間使用多達6個晶圓進行操作。TEU的蝕刻氣體輸送系統確保了快速均勻蝕刻的均勻的蝕刻氣體供應，導致高質量的蝕刻以及低顆粒排放。TEU擁有一個創新的車載軟件系統，可用於從頭到尾控制和監控流程。它包括一個用戶友好的圖形界面，允許用戶快速設置參數並優化給定應用程序的過程。該軟件還可以通過網絡PC遠程控制TEU,從而方便地監控蝕刻過程。TEU是一種用途廣泛、耐用且經濟高效的蝕刻各種基材的系統。它非常適合蝕刻圖樣晶片和研究納米技術等先進技術等應用。其出色的蝕刻性能、強大的軟件和可承受的價格使其成為許多學科的從業人員的一個有吸引力的選擇。