二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9105196 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II是一種蝕刻器/asher，用於等離子體蝕刻和灰化過程。TEL Unity II具有專利的屏蔽室，它允許在蝕刻和灰化過程中離子、電子和中性粒子的緊密平衡。這確保了精確的蝕刻和灰化過程，而無需額外的氣體再循環或有機汙染。該設備也是高效的，使用優化的等離子體系統，以確保更大的均勻性蝕刻和灰化。TOKYO ELECTRON UNITY II允許通用的過程控制，包括腔室條件的自動控制、直流偏置、過程時間、壓力和氣流條件。這有助於消除猜測,並確保在整個蝕刻和灰化周期中得到一致的結果。該單元還包括一個主動室汙染監測機，這有助於防止不必要的過程偏差由於顆粒沈積在腔壁。Unity II旨在同時控制等離子體蝕刻和灰化過程，允許用戶同時調整參數和查看兩種類型的過程。這有助於避免幹擾,並允許該進程以最佳方式運行。此外，使用TEL/TOKYO ELECTRON UNITY III可以精確控制空氣質量流動、過濾空氣顆粒、蝕刻/灰化混合數和氙蝕刻速率。它包括一種光發射光譜（OES），在排放過多的情況下通過關閉電源自動控制發射速率。此外，TOKYO ELECTRON UNITY II的設計目的是通過自動詢問雜散帶電粒子並防止它們通過過程室來最大程度地減少雜散磁場。總體而言,Unity II是一款可靠高效的蝕刻器/asher,具有廣泛的過程控制功能。它的多功能性、安全性和一致性使其成為各種蝕刻和灰化工藝的理想機器。