二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity II #9227407 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II是TEL Ltd為晶圓的精密處理而開發的蝕刻/asher設備。它旨在取代傳統的昂貴的濕蝕刻工藝，並由於使用了高度精確的掃描電子束（SEB）工藝而提供了卓越的吞吐量和精度。它配備了軟件控制的光束優化和均勻性校正，確保蝕刻結果滿足可靠性和準確性的最高期望。TEL Unity II專為快速制造MEMS和納米技術產品和微系統以及研發而設計。該機配備了多種光束掃描選項和可變射頻功率，允許廣泛的應用，如介電蝕刻、結晶蝕刻和兩層之間材料的選擇性蝕刻。該機還能進行濺射蝕刻，並配有最小化缺陷的自動工藝優化程序，從而達到盡可能高的產量。TOKYO ELECTRON UNITY II兼具高度通用性和人性化。它配備了一個載荷系統，允許選擇和加載多達150個標準和非標準尺寸的晶片，降低人工成本，並消除手動處理。該單元還配備了各種專門設計用於滿足每個應用程序獨特要求的工藝室。它還具有一系列先進的診斷和控制接口，允許對光刻工藝進行持續的監測和調整。Unity II專為最大吞吐量、可靠性和準確性而設計。它配備了超大尺寸的光束點大小和用於精確光束控制的高壓電子槍。其8級真空泵機允許快速疏散，降低汙染風險。它還具有一系列安全和保護功能，包括在維護和清潔過程中覆蓋電子束的高速快門，以及安全操作的雙門檢修口。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II是一款功能強大、可靠的蝕刻器/asher，非常適合多種高精度應用。其優越的精度和吞吐量，加上人性化的設計和先進的安全特性，使其成為精密晶圓加工的絕佳選擇。