二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655II #293764223 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655II是一種在半導體制造工業中為集成電路（IC）處理而設計的蝕刻器或asher。它是一種高性能的設備,可以容納大規模生產,提供市場上任何蝕刻器或石膏的最高吞吐量和生產率。該系統能夠在矽片上清洗、蝕刻、粉刷和沈積各種材料，精度和精確度都很高。TEL Unity IIe 655II配備一個多室單元，支持兩種蝕刻工藝--鋁蝕刻（AE）和鈦蝕刻（TE），以及兩種灰化工藝--氙氣灰化（AA）和氮氣灰化（NA）。該機還配備了多種優化生產的功能和選項，包括優越的工藝控制、通用的基板級控制、用於靈活刀具配置的雙盒式吊艙和模塊化設計，以及最大限度地減少停機時間和最大化效率的自動維護。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655II具有先進的底物級控制資產,能夠控制底物和晶圓溫度、AE和TE工藝的氣體條件以及化學濃度。這確保了對蝕刻過程的精確控制,從而提高了產量和產品質量。該型號還配備了自動化生產流程的先進作業調度設備，從組合處理到順序處理，無需人工幹預。這將人力成本降至最低,並提高吞吐量。Unity IIe 655II配備了多種安全功能，以確保晶片的安全高效處理。該系統配備了先進的泄漏監控器，確保完全防止氣體泄漏和有害物質。該單元還配備了流程數據安全功能，以保護機密或專有數據。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655II還配備了可實時監控所有腔室和氣體狀況的自診斷機。這樣可以確保最大吞吐量效率,並確保操作員完全安全。總體而言,TEL Unity IIe 655II是一種高級蝕刻器/灰化器,旨在在大規模生產環境中高效處理晶片。該工具能夠為任何半導體制造商提供最高的吞吐量和生產能力。該資產配備了最先進的安全和過程控制功能,非常適合任何生產設施。