二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PD #9016203 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PD
ID: 9016203
晶圓大小: 6"
優質的: 2006
Oxide etcher, 6" (2) Chambers 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PD是為電子工業中的超精細加工而設計的蝕刻器/asher。能夠以卓越的精度和速度執行高級蝕刻和灰化功能。TEL Unity IIe 655PD非常適合當今納米技術應用所需的高級光刻技術。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PD具有創新的多區域設計,可獨立控制每個工藝室。這允許對具有高吞吐量的超精細特性進行高級處理。多區域設計還提高了工藝靈活性,最大限度地提高了生產效率。掃描電子顯微鏡(SEM)允許直接觀察蝕刻和灰化過程。這在蝕刻復雜圖樣或精細間距特征(如超大規模集成(ULSI)電路中的特征)時特別有用。SEM通過提供過程的實時圖像來增強過程控制。UnityIIe 655PD使用專有的等離子體源,它提供均勻的能量分布和優異的蝕刻均勻性。這種蝕刻均勻性和工藝靈活性的結合使得TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PD高級光刻應用的理想選擇。TEL Unity IIe 655PD還為直觀的操作提供了一個簡單且用戶友好的界面。它支持大型兼容計算機網絡,允許用戶在進程運行時進行微調調整。這確保了取得最佳結果。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PD設計有特別的安全措施,以盡量減少操作危險。認證符合行業安全標準,如歐洲的CE認證和美國的UL認證。這樣可以確保用戶安全並提供額外的安心。總體而言,Unity IIe 655PD提供卓越的蝕刻和灰化性能,同時還提供先進的過程控制和優化的安全性。是先進光刻應用的理想平臺。
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