二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293793647 待售
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ID: 293793647
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
Oxide etcher, 6"
Wafer type: Flat
(7) Gas lines
Gases: CF4, CHF3, Ar, N2
DAIHEN MFG-20SA3 RF Generator
FUJIKIN Manual valve
(3) MILLIPORE WG2FT1RR2 Filters
(2) VERIFLO SQ60502PFSMM Regulators
VERIFLO SQ140E502PFSMM Regulator
KURODA B35-2G Regulator
NKS Pressure gauge
NAGANO KEIKI CB14 Pressure switch
Pneumatic valve:
CKD AVB21-X0038-FL Vacuum valve
FUJIKIN General protective valve
VAT 26332-KA71-1001/345 Isolation valve
Gas box:
Size: 100 Φ
Range: 100 CFM
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 65DP是為學術和工業研究實驗室設計的高性能蝕刻器/asher。這種先進的設備能夠在直徑不超過200毫米的樣品尺寸下工作,蝕刻深度不超過9微米的工藝溫度不超過350°C,灰度不超過0.3微米。TEL Unity IIe 65 DP的高級流程配置文件控制允許廣泛的處理參數,包括多步蝕刻/和或asher配方。此外,TOKYO ELECTRON UNITY IIe 65DP采用獨家TEL控制軟件構建,使用戶能夠通過PC上高度圖形化的界面直觀地配置工藝配方、監控條件和操作。該系統還可以使用單獨的PC或筆記本電腦遠程操作。該軟件還提供實時數據記錄、流程歷史記錄和配方編輯/設計等功能,其中包含50,000多個配方庫。UnityIIe 65DP具有固態設計,通過防止大氣和振動的影響來確保長期穩定。用戶還可以從其自動化維護系統中受益,該系統允許在用戶最少或沒有幹預的情況下維護設備。機器還帶有實時診斷,以確保最佳的刀具操作和正常運行時間。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 65DP具有現代化、小規模的設計,幾乎可以安裝任何實驗室環境。這種堅固的資產專為高可靠性和性能而設計,可容納多種示例類型。總體而言,TEL Unity IIe 65DP非常適合那些正在尋找具有自動維護、高級流程控制和直觀圖形界面的高性能蝕刻器/asher的大學和其他研究實驗室。
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