二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 655PP #293796081 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PP是一種蝕刻器/asher，設計用於在一系列底物上沈積薄膜。這是一個大型的，工業能力的機器，具有四端點檢測。對於需要非常精確的薄膜沈積的應用來說，這是一個不錯的選擇。TEL Unity IIe 655PP有一個大腔室，大約18 「x 30」（45 cm x 76 cm），並具有允許兩個腔室同時沈積的雙腔室設計。一個石英管爐（由四個500W紅外燈供電）將每個腔室加熱至最高500 °C的溫度，機器的後部裝有一個特殊的線圈，提供高達-100伏的基板偏置電壓。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PP采用了先進的端點檢測系統。它結合了四端點檢測器（QED）和數字圖像處理器（DIP），兩者都嵌入到機器的控制器中。QED使用石英管內的四個紅外探測器監測薄膜厚度和均勻性，而DIP則分析位於腔內的一個特殊相機拍攝的圖像。這允許高度精確的薄膜沈積，並且可以給科學家關於蝕刻或灰化工藝質量的寶貴反饋。Unity IIe 655PP還具有執行等離子體蝕刻的能力，借助安裝在腔內的等離子體源。這臺機器的一個特殊功能是Spike-ID,它是一種先進的專有蝕刻技術,可精確創建小型結構或特征以及高縱橫比結構。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 655PP是一個出色的蝕刻器/asher的一系列應用。其精密的端點檢測系統和薄膜沈積和等離子體蝕刻能力使其成為需要高精度和小結構的超精密應用的絕佳選擇。