二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 844DD #293586743 待售

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ID: 293586743
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Oxide etcher, 8" (2) DRM Chambers 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 844DD是來自TEL的Unity系列裝置的蝕刻設備。它是一種多功能等離子體蝕刻沈積系統,旨在為用戶提供高度精確的蝕刻沈積結果。844DD模型是一個雙頭裝置,每個等離子體源提供最佳的蝕刻和沈積結果。該裝置設計高效可靠,提供高精度和可重復性。該裝置配備了多項功能,以確保精確的蝕刻和沈積。等離子體通過單級阻抗匹配電路產生,有助於產生更均勻的蝕刻和沈積結果。該裝置還配備了可調節的射頻發生器,可對等離子體處理中使用的功率範圍進行調整。射頻發生器提供恒定頻率和掃描調制,有助於進一步完善蝕刻和沈積結果。該裝置還配備了多項安全功能。當蝕刻室的蓋子打開時,互鎖開關會關閉等離子體源。該腔室采用集成真空裝置,以幫助清潔過程。該裝置的機櫃還設計為確保熱量均勻分布,防止對敏感部件的潛在損壞。844DD模型旨在支持各種蝕刻和沈積應用。它既能支持高密度等離子體蝕刻,又能支持深層反應性離子蝕刻的應用。它被設計成能夠加工各種基材,包括金屬、陶瓷和玻璃。該裝置有一臺高分辨率的光學機器供檢查。該設備還配備了多種硬件和軟件功能,包括數據集成接口、配方編輯器和集成氣體工具。總體而言,TEL Unity IIe 844DD提供可靠和準確的蝕刻和沈積結果。它是一種強大的蝕刻資產,經過廣泛的功能設計,以確保精確的結果。該裝置還配備了多種安全功能,確保用戶享有安全的工作體驗。
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