二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 844DD #9377254 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 844DD是一種高速、中大容量的批量蝕刻和灰化設備，旨在滿足研究和中小型生產設施的需求。Unity IIe配備了光刻膠、墊片蝕刻和CMP蝕刻/灰化室，允許處理直徑可達8英寸（200毫米）的基板。內置CCD攝像機系統可直接觀察腔內基板。Unity IIe的其他功能包括兩級輸出、同時蝕刻/灰分處理和加熱EBR。Unity IIe由15.1英寸觸摸面板控制器驅動，配備TEL U系列多內存單元。這臺機器可以儲存多達八百個食譜和一萬個程序。為了提高生產率,控制器允許通過Web瀏覽器進行遠程控制。Unity IIe具有強大的源示意圖構造、多內存工具、兩級輸出反演和EBR控制功能,因此提供了高性能。源示意圖構造允許穩定的進程能力，而多內存資產提供高速內存寫入操作。兩級輸出逆變器提高了粒子收集性能，EBR控制特性擴展了工藝配方。在安全性方面，Unity IIe的設計符合FPD安全等級2中規定的嚴格要求。該模型集成了氣體傳感器、滅火器和自動停止壓力等安全措施。總體而言,TEL Unity IIe 844DD是一種高性能的蝕刻和灰化設備,旨在為研究和生產設施提供可靠、高精度的加工。Unity IIe憑借其高速運行、內置CCD攝像頭系統、先進的安全特性和高效的源示意圖構造，是精密微蝕刻、基板蝕刻、CMP蝕刻/灰化的理想工具。